ชื่อสิ่งประดิษฐ์ : อุปกรณ์กำเนิดลำพลาสมาแบบหลายลำพ่นที่ดำเนินการได้ในสภาวะความดันหนึ่งบรรยากาศ

อนุสิทธิบัตรเลขที่ : 15314

เจ้าของสิทธิ : มหาวิทยาลัยมหาสารคาม 

คำขออนุสิทธิบัตรเลขที่ : 1603002110

ออกให้วันที่ : 25 มิถุนายน 2562

ผู้ประดิษฐ์ : ผู้ช่วยศาสตราจารย์อาทิตย์ ฉิ่งสูงเนิน และคณะ

สังกัด : คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยมหาสารคาม

คุณสมบัติ

    อุปกรณ์กำเนิดลำพลาสมาแบบหลายลำพ่นที่ดำเนินการได้ในสภาวะความดันหนึ่งบรรยากาศ มีหลักการเดียวกับการปล่อยประจุแบบไดอิเล็กทริกขวางกั้นแต่ได้ปรับปรุงในส่วนของลักษณะแผ่นขั้วกราวด์และวิธีการพ่นแก๊สเข้าไปในช่องปล่อยประจุ แผ่นขั้วกราวด์ของอุปกรณ์กำเนิดลำพลาสมาฯ ตามการประดิษฐ์นี้ มีลักษณะเป็นแผ่นตัวนำบาง ทรงสี่เหลี่ยมผืนผ้า ถูกเจาะให้มีรูขนาดเล็กจำนวนหลายรูที่เรียงติดกันเป็นแนวยาว มีการพ่นแก๊สจากด้านบนของแผ่นขั้วกราวด์ผ่านรูขนาดเล็กจำนวนหลายรูที่เรียงติดกันเป็นแนวยาว ทำให้พลาสมาในช่องปล่อยประจุมีลักษณะเป็นลำแบบหลายลำพ่น

    ความมุ่งหมายของการประดิษฐ์นี้คือเพื่อปรับปรุงความสม่ำเสมอของพลาสมาที่พ่นกระทบผิวชิ้นงาน ด้วยการพ่นแก๊สจากด้านบนของแผ่นขั้วกราวด์ผ่านรูขนาดเล็กจำนวนหลายรูที่เรียงติดกันเป็นแนวยาว