ชื่อสิ่งประดิษฐ์ : อุปกรณ์กำเนิดพลาสมาที่ความดันบรรยากาศแบบฝักบัว

อนุสิทธิบัตรเลขที่ : 14888

เจ้าของสิทธิ : มหาวิทยาลัยมหาสารคาม 

คำขออนุสิทธิบัตรเลขที่ : 1603002109

ออกให้วันที่ : 21 มกราคม 2562

ผู้ประดิษฐ์ : ผู้ช่วยศาสตราจารย์อาทิตย์ ฉิ่งสูงเนิน และคณะ

สังกัด : คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยมหาสารคาม

คุณสมบัติ

     อุปกรณ์กำเนิดพลาสมาที่ความดันบรรยากาศแบบฝักบัว พลาสมาจะถูกสร้างขึ้นภายใต้ขั้วไฟฟ้าแบบแผ่นคู่ขนาน โดยใช้หลักการปล่อยประจุแบบฉนวนขวางกัน โดยขั้วกำลังถูกต่อเข้ากับแหล่งจ่ายไฟความถี่วิทยุผ่านตัวต่อไฟตัวเมียแบบ HN ในขณะที่ขั้วกราวด์ได้ถูกเจาะรู เรียงกันเป็นวงกลมเหมือนรังผึ้ง ทำให้ส่วนหนึ่งของพลาสมาและอนุมูลถูกพ่นออกมาจากขั้วกราวด์เหมือนกับน้ำที่ไหลออกมาจากฝักบัว เป็นการสร้างอุปกรณ์กำเนิดพลาสมาเย็นที่สามารถทำงานได้ที่ความดันบรรยากาศ และให้ส่วนหนึ่งของพลาสมาและอนุมูลถูกพ่นออกมาจากรูหลายๆ รู เป็นบริเวณกว้าง เพื่อการนำแหล่งกำเนิดพลาสมาไปใช้ในการเคลือบผิวหรือปรับปรุงผิววัสดุต่อไป